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半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的水分控制

半導(dǎo)體是常溫下界于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體、微電路和微芯片的生產(chǎn)需要在制造加工領(lǐng)域保持非常精確的條件。

半導(dǎo)體組裝或加工中使用的組件通常具有吸濕性,因此對(duì)高濕度條件高度敏感。

濕度給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來的不良影響:

電路點(diǎn)易被腐蝕

半導(dǎo)體組件的操作故障

光敏樹脂的不適當(dāng)附著力

而半導(dǎo)體帶來的不當(dāng)影響皆是因?yàn)榭諝庵兴痔?,其?shí)半導(dǎo)體合適的存放環(huán)境在20°下,半導(dǎo)體組件制造區(qū)域的相對(duì)濕度應(yīng)保持在30%。

在組裝領(lǐng)域,在半導(dǎo)體和集成電路的生產(chǎn)過程中,過多的水分對(duì)粘合工藝產(chǎn)生不利影響,并增加缺陷。光刻膠化合物被稱為光致抗蝕劑,用于屏蔽電路線用于蝕刻工藝。由于它們的吸濕性質(zhì),容易吸收水分導(dǎo)致微觀電路線被切割或橋接,導(dǎo)致電路故障。具體表現(xiàn)在以下幾方面:

晶圓制造區(qū):晶圓制造過程中,晶圓表面噴涂旋轉(zhuǎn)劑,使晶圓上的溶劑迅速蒸發(fā),從而冷卻晶圓表面。這導(dǎo)致水蒸氣從晶片表面上的空氣冷凝。晶片上的額外水使顯影劑的特性發(fā)生變化??刮g劑還吸收了引起聚合物膨脹的水分。在30%控制相對(duì)濕度消除了晶片表面冷卻低于晶片表面周圍空氣露點(diǎn)的可能性,從而防止失效和損壞。

光刻室:光刻室的相對(duì)濕度條件需要保持在20%~35%之間,過多的水分會(huì)使二氧化硅大量吸收,導(dǎo)致光刻膠的不適當(dāng)粘附,導(dǎo)致應(yīng)力斷裂和表面缺陷。

更快的真空泵下降:如果濕度水平高,由于低溫蒸汽的大量負(fù)載,真空泵等低溫設(shè)備的運(yùn)行速度會(huì)減慢。如果相對(duì)濕度水平可以保持在30%-35%左右,就會(huì)大大降低了批量處理速度。

設(shè)備的保護(hù):水蒸氣或濕氣凝結(jié)在外延設(shè)備的冷卻表面上,極易腐蝕部件,導(dǎo)致操作失敗并減緩生產(chǎn)速度。

綜上所述,可以看到,半導(dǎo)體的存放條件真的是十分嚴(yán)格的,然而杭井工業(yè)除濕機(jī)可以有效地維持半導(dǎo)體制造區(qū)域所需的最嚴(yán)格的濕度條件。不管環(huán)境條件如何變化,杭井除濕機(jī)都能夠?qū)穸缺3衷诤艿偷暮愣ㄋ?,可謂是半導(dǎo)體生產(chǎn)的良好保障。

選擇杭井除濕機(jī),半導(dǎo)體順利生產(chǎn)不是問題!

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