濕度控制是無塵車間生產(chǎn)需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%RH的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%RH的范圍內(nèi)。

近年來，由于對工藝要求的越來越高，人們對無塵車間的要求也越來越高。無塵車間是一個比較特殊的場所，又叫做潔凈廠房、潔凈室(Hlean Room）、無塵室。其中，跟我們除濕機行業(yè)密切相關的就是空氣的濕度了。因為空氣的濕度對會無塵車間室內(nèi)有一些影響：

1、無塵車間里的一些物品在濕度大的環(huán)境里，往往會吸收水分，從而變形變質(zhì)。因此，繼續(xù)除濕機來確保空氣里的濕度保持在一個合理的標準。

2、無塵車間里一定會有金屬物品，濕度過于大太潮濕，金屬會受潮，會被腐蝕！

3、前面兩點是空氣的濕度過于大會引起的問題，同樣的空氣的濕度過于小，就是空氣太干燥也是不行的。如果無塵車間里的空氣太干燥，是容易引起靜電的。

4、既然是車間，定有工人在操作?？茖W研究表明了，我們?nèi)梭w在空氣濕度在40%—60%RH之間是比較舒適的?？諝鉂穸冗^于高，人的皮膚可能會過敏濕疹，會無精打采，萎靡不振；空氣過于干燥，會誘發(fā)各種呼吸系統(tǒng)的疾病。

5、無塵車間并非無菌車間，在無塵車間里要保持好一個好的空氣濕度。經(jīng)過研究表明，細菌和其他生物污染在相對濕度過60%RH的環(huán)境中可以活躍地繁殖，一些菌群在相對濕度過30%RH時就可以增長，可見控制濕度的重要性。

隨著車間對空氣質(zhì)量指標的高要求，無塵車間安裝管道除濕機或者是恒溫恒濕機等設備是勢在行的。其中除濕機的原理是用蒸發(fā)器在降溫的同時，又可以回收系統(tǒng)的熱量來彌補散失的熱量，既能源合理利用又節(jié)能，如今越來越多地應用。

那么潔凈廠房、潔凈室、無塵室常見的除濕設備有哪些呢？

1、立柜式除濕機

2、管道&吊頂式除濕機

3、恒溫恒濕機